测量/评定 | 基于Windows操作系统的MarSurfXR20软件具有德语、英语、法语、意大利语以及西班牙语等多种语言 |
参数和轮廓 | 超过65个R-轮廓、P轮廓、W轮廓和motifs参数,带公差监测和统计功能。参数列表和特征曲线 |
轮廓分辨率 | 取决于传感器型号,为±25µm测量范围内,最小分辨率可达76nm |
测量范围 | ±25µm到±2500µm,取决于所用传感器类型 |
采样长度个数N | 1个到5个,或1个到Nmax个在NxLc模式中,Nmax=驱动单元的最大测量长度/Lc滤波设定) |
滤波器类型 | GS/2RC/SFISO13565-1/外形翻转NEG/ARC-(弧形消除)-支持选择其他特别的过滤器 |
取样长度Lc | 可自由设定Lc,最大25mm,Lc=f(lt);0.025mm/0.08mm/0.25mm/0.8mm/2.5mm/8mm以及短截止波长Lc,默认取样长度值符合ISO4288规定,取样长度取决于Lt和dx |
驱动单元 | PZK,GD25,PGK20,PGK120,PRK(通过PAV62) |