机型 | SJ-310 标准机型 | SJ-310R 退避型驱动 | SJ-310S 橫向驱动 |
编号 | 178-571-01A | 178-573-01A | 178-575-01A |
測定力 | 0.75 mN | ||
固定长度 (X轴) | 16mm | 5.6mm | |
固定范围 (Z轴) | 360µm(-200µm~+160µm) | ||
解析度/测定范围 | 0.02 µm / 360 µm, 0.006µm / 100µm, 0.002 µm / 25um | ||
任意测定长 | 0.3~16 mm (0.01mm 间隔) | 0.3~5.6 mm (0.01 mm间隔) | |
参数值 | Ra, Ry, Rz, Rt, Rp, Rq, Rv, S, Pc, R3z, mr(c), Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2, Lo, Ppi, R, AR, Rx, A1, A2, Vo, HSC, mr, sk, ku, Δα, Δq, Wte, Wx, W, AW (共35个参数) | ||
通用规范 | JIS' 82, JIS' 94, JIS' 01, ISO' 97, ANSI,VDA | ||
输出功能 | USB/RS-232C/SPC输出 |