| X轴(驱动部) | 测量范围:50mm |
| 分辨率:0.05μm | |
| 检测方法:线性编辑器 | |
| 驱动速度:0-20mm/s | |
| 测量速度:0.02-5mm/s | |
| 移动方向:向后 | |
| 直线度:0.2μm/50mm | |
| 定位:±1.5° | |
| 检测器 | 范围/分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm |
| 检测方法:无轨/有轨测量 | |
| 测力:4mN或0.75mN(低测力型) | |
| 测针针尖:金刚石、90°/5μmR(60°/2μmR:低测力型) | |
| 导头曲率半径:40mm | |
| 检测方法:差动电感方式 | |
| 控制器 | 显示:7.5英寸带背光的TFT彩显 |
| 打印机:内置热敏打印机 | |
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放大倍率:水平:×10至×500,000,自动 垂直:×0.5至10,000,自动 |
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| 驱动装置的控制 | 通过操纵杆手动手柄的操作 |