X轴(驱动部) | 测量范围:50mm |
分辨率:0.05μm | |
检测方法:线性编辑器 | |
驱动速度:0-20mm/s | |
测量速度:0.02-5mm/s | |
移动方向:向后 | |
直线度:0.2μm/50mm | |
定位:±1.5° | |
检测器 | 范围/分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm |
检测方法:无轨/有轨测量 | |
测力:4mN或0.75mN(低测力型) | |
测针针尖:金刚石、90°/5μmR(60°/2μmR:低测力型) | |
导头曲率半径:40mm | |
检测方法:差动电感方式 | |
控制器 | 显示:7.5英寸带背光的TFT彩显 |
打印机:内置热敏打印机 | |
放大倍率:水平:×10至×500,000,自动 垂直:×0.5至10,000,自动 |
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驱动装置的控制 | 通过操纵杆手动手柄的操作 |