X轴(驱动部) | |
测量范围 | 50mm |
分辨率 | 0.05μm |
长度基准 | 线性编码器 |
驱动速度 | 0-20mm/s |
测量速度 | 0.02-5mm/s |
移动方向 | 向后 |
直线度 | 0.2μm/50mm |
定位 | ±1.5°(倾角,有DAT功能),30mm(向上/向下) |
检测器 | |
范围/分辨率 | 800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm |
检测方法 | 无轨/有轨测量 |
测力 | 4mN或0.75mN |
测针针尖 | 金刚石,90º/5μmR(60º/2μmR) |
导头曲率半径 | 40mm |
导头压力 | 小于400mN |
类型 | 差动电感式 |
尺寸(WxDxH) | 425x94x160mm |
重量 | 主机2.7kg |
连接装置3.8kg | |
评估能力 | |
适用标准 | JIS\'82,JIS\'94,JIS\'01,ISO,ANSI,VDA |
评估轮廓 | P(原始轮廓),R(表面粗糙度曲线),DIN4776,粗糙度曲线motif |
评价参数 |
Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Rv,Sm,S,Pc,R3z,mr(c),Rpk,Rvk,δc,Rk,Mr1,Mr2 Lo,Ppi,R,AR,Rx,A1,A2,Vo,HSC,mr,SK,Ku,Δa,Δq,Wte,Wx,W,AW(可定制) Rz1max(ISO),Rmax(VDA,ANSI) |
分析图表 | ADC、BAC、功率谱图 |
评价曲线 | 断面曲线、粗糙度曲线、DF曲线、波纹曲线表面粗糙度MOTIF、波形MOTIF曲线 |
解析图表 | 负荷曲线、振幅分布曲线 |
曲线补偿 | 抛物线、双曲线、圆锥、圆、二次曲线、倾斜补偿、无补偿 |
滤波类型 | 2CR,PC75,高斯 |
截止波长 |
lc0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm ls0.25,0.8,2.5,8,25,80,250μm无滤波器 lf0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm无滤波器 |
取样长度 | 0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm; |
数据补偿功能 | 倾斜补偿、R平面(曲面)补偿、椭圆补偿、抛物线补偿、双曲线补偿、二次曲线自动补偿、多项式补偿、多项式自动补偿 |