| X轴(驱动部) | 测量范围:100mm或200mm |
| 分辨率:0.05μm | |
| 检测方法:线性编辑器 | |
| 驱动速度:0-80mm/s | |
| 测量速度:0.02-5mm/s | |
| 移动方向:向后 | |
| 直线度:0.15μm+1L/100μm (0.5μm/200mm:测量范围为200mm的型号) | |
| 倾角范围:±45° | |
| Z2轴(立柱) | 垂直移动:300mm或500mm、动力驱动 |
| 分辨率:1μm | |
| 检测方法:ABSOLUTE线性编码器 | |
| 驱动速度:0-20mm/s | |
| 检测器 | 范围/分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(使用测头选件时,最大可达2400μm) |
| 检测方法:无轨/有轨测量 | |
| 测力:4mN或0.75mN(低测力型) | |
| 测针针尖:金刚石、90°/5μmR(60°/2μmR:低测力型) | |
| 导头曲率半径:40mm | |
| 检测方法:差动电感方式 | |
| 基座尺寸(W×H) | 600×450mm或1000×450mm |
| 基座材料 | 花岗岩 |
| 尺寸(W×D×H) |
756×482×966mm(S4型) 756×482×1166mm(H4型) 1156×482×1176mm(W4型) 766×482×966mm(S8型) 766×482×1166mm(H8型) 1166×482×1176mm(W8型) |
| 重量 |
140kg(S4,S8型) 150kg(H4,H8型) 220kg(W4,W8型) *L为驱动长度(mm) |