测量参数: | Ra、Rz、Rq、Rt |
取样长度: | 0.25mm,0.8mm,2.5mm三挡可选 |
评定长度中含有5个取样长度: | (5L) |
测量范围:Ra: | 0.025μm~12.5μm; |
测量范围: | Rz、 Rt、:0.02μm~160μm;Rq:0.005μm~16μm |
量程范围: | 160μm |
触针角度: | 90° |
导头纵向半径: | 45mm |
针尖材料: | 金刚石 |
针尖半径: | 5μm±1μm |
触针测力: | 4mN(0.4gf) |
最大驱动行程: | 18mm/0.71inch |
驱动速度 | |
测量时: |
当取样长度= 0.25mm Vt=0.135mm/s 当取样长度= 0.8mm Vt=0.5mm/s 当取样长度= 2.5mm Vt=1mm/s |
返回时: | V=1mm/s |
示值误差: | 不大于±10% |
示值变动性: | 不大于6% |
外形尺寸 | 140mm×52mm×48mm |
重量: | 440g |
测量范围 | 分辨力 |
±20μm | 0.01μm |
±40μm | 0.02μm |
±80μm | 0.04μm |