AL120-12晶圆搬送机

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美国OLYMPUS AL120-12晶圆搬送机由爱仪器仪表网代理，本产品是在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性的晶圆搬送机，现在热卖中，如需购买，可通过ai1718.com的客服热线联系我们!

产品简介：
•AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB
•适用于低成本的后期检查
•安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全
•专用宏观照明装置

产品特点：
•人机工程学设计，操作方便
•坚固、可靠和安全传送
•可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性
•分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型
•为异物、伤痕、膜斑、散焦的发现提供了理想的照明方式 
•高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合
•实现了300 mm晶圆的冷光源全面照射

	AL120-LMB12-LP	AL120-LMB12-F
晶圆尺寸	300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可选：200 mm
卡盒	●FOUP（Front Opening Unified Pods）前开门标准夹  ●SEMI：E47.1-0200规格产品  ●FIMS-FOSB, FOSB	●FOSB（Front Opening Shipping Box）前开门搬运盒  ●SEMI：M31-0999规格产品
卡盒数	单盒（装载、卸载兼用）
卡盒设置高度	900 mm
装载端口	有	无
搬运顺序	表面宏、内面宏、显微镜检查
检查模式	全部检查、抽样检查
晶圆校准	非接触式中心环
晶圆搬运方式	真空吸附机械搬运
适用显微镜	半导体检查显微镜MX61L
应用环境	AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz  真空-67～-80 Kpa  压缩空气0.5MPa～0.6MPa	AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz  真空-67～-80 Kpa
载物台	XY手动吸附载物台，有XY粗调／微调和360度旋转机构
重量（不包括显微镜）	约360 kg	约270 kg

技术支持