MX61半导体/FPD检测显微镜

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美国OLYMPUS MX61半导体/FPD检测显微镜由爱仪器仪表网代理，本产品是保证了*的图像分辨率和鲜明度的半导体/FPD检测显微镜，现在热卖中，如需购买，可通过ai1718.com的客服热线联系我们!

产品简介：
•MX61, 200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法、荧光法、红外线法和深紫外线法
•保证了*的图像分辨率和鲜明度
•考虑了检查效率的设计
•观察姿势迅速到位的倾斜镜筒
•高灵敏度载物台可以迅速决定位置
•鲜明图像和*的分辨率为特点的光学系
•多种选择可实现*的成像性能
•MX61L配备了PC界面，可以读取显微镜的电动功能
•使用数码照相机记录和保存数码影像
•支持缺陷检测的多种功能
•快速切换物镜，提高检查速度
•三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择
•变换物镜，孔径光阑（AS）也随之调节

产品特点：
•主要操作集中配置在前面板上
•用一个手指*可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度
•物镜和孔径光阑（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指*可以操作
•为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度
•可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查
•对应300 mm晶圆／17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围（Y方向284 mm）
•内置离合器的载物台手柄，可切换粗调和微调
•在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，快速完成检查
•物镜是涉及到样品的照明和观察的重要部件，奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择
•三目镜筒可以安装数码照相机
•可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告
•可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机
•电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%
•物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度
•MX61L对每个物镜都可以设置观察方法和AS（14级），只要切换物镜*能以*合适的对比度进行观察
•MX61L能与自动晶圆搬送机组合，组合后的尺寸也被设计得很小
•在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察
•对应光掩模和FPD检查的透射照明单元
•偏振光片的搭载，实现了透射简易偏振光观察

半导体／FPD检查显微镜 规格			MX61L	MX61
光学系统			UIS2光学系统（无限远校正）
机身	观察方法		明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
	反射/透射		反射/透射
	照明装置		机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）
	照明系统	反射照明	100 W卤素/100 W水银/75 W氙
		透射照明	纤维光导
	对焦单元	电动/手动	手动
		行程	32 mm
		分辨率/微调灵敏度	微调旋钮转动1周移动0.1 mm
		最大样本高度	30 mm
	物镜转换器	电动型	明视场微分干涉6孔
			明暗视场微分干涉5孔
			明暗视场微分干涉6孔
			明暗视场微分干涉中心输出5孔
		手动式	--
载物台	行程		14×12英寸右下手柄：  356（X）×305（Y）mm  （透射照明范围356×284 mm）	8×8 英寸右下手柄：  210（X）×210（Y）mm  （透射照明范围189×189 mm）  6×6 英寸右下手柄：  158（X）×158（Y）mm
观察筒	广角视场  （视场数22）	倒置	双目/三目观察筒
		正像	三目观察筒
	超宽视场  （视场数26.5）	倒置	三目观察筒
		正像	倾斜三目观察筒
附件单元			IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸			710（W）×843（D）×507（H）mm  （标准组合）	509（W）×843（D）×507（H）mm  （标准组合）
重量			51 kg（标准组合）	40 kg（标准组合）

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