MX61A自动化半导体检查显微镜

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美国OLYMPUS MX61A自动化半导体检查显微镜由爱仪器仪表网代理，本产品是有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测的自动化半导体检查显微镜，现在热卖中，如需购买，可通过ai1718.com的客服热线联系我们!

产品简介：
•MX61A是一款专门设计的半导体显微镜，可使操作人员以正确的人体工程学姿势进行操作
•有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测，保证了工作的效率和产品一体化
•始终提供*佳观察影像的光学系统
•提供扩展性的解决方案
•实现对人和环境都没有危害的自动化
•帮助实现多种观察的附件
•自动调节*佳亮度
•对应各种设备的实时AF
•对应多种观察方法
•软件进一步拓展了MX61A的扩张性，满足了不断变化的分析需求
•符合人体工程学和安全对策等，高水准的确保了可靠性
•备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器
•可以触摸屏操作的手控开关

产品特点：
•强大的缺陷检查能力
•采用了新颖的光学系统，特别增强了明视场、暗视场的性能，从而提高了辨别和确认缺陷的能力
•明视场图像的色温*佳化，实现了容易误检的中性颜色的再现，暗视场图像的亮度约提高了四倍
•物镜选择和观察方法切换连动，自动地调节亮度光圈
•提高了观察速度并减轻疲劳
•MX61A装载了在对焦精度、对焦速度上性能优越的动态AF
•新开发的多点方式的传感器的采用，大幅度的提高了对焦时的稳定性
•在可视、深紫外线的反射光观察中，实现了追踪观察位置的实时对焦
•在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品，与各种观察单元组合
•可以在一台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察
•观察方法的切换非常简单，只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择*可以
•显微镜控制软件作为核心对MX61A系统全体进行控制
•采用了新型马达，实现了高速安静的倍率转换
•采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架
•即便是高倍率观察，也不会出现影像模糊的情况
•只要选择观察方法，*能得到基于登录条件的*合适的观察影像
•新型搬送手臂的采用，实现了对90 μm极薄晶圆的搬送，能满足多种尺寸晶圆搬送的需求
•备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台
•通过PC控制，可以实现*检查、不良分析功能

光学系统			UIS2光学系统（无限远校正）
机身	观察方法		明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
	反射/透射		反射
	照明装置		机身一体型（明视场、暗视场＋1选件）
	照明系统	反射照明	100 W卤素/100 W水银/75 W氙
		透射照明	--
	对焦单元	电动/手动	电动
		行程	25.4 mm
		分辨率/微调灵敏度	分辨率0.01 μm
		最大样本高度	24 mm
	物镜转换器	电动型	明视场微分干涉6孔
			明暗视场微分干涉5孔
			明暗视场微分干涉6孔
			明暗视场微分干涉中心补正5孔
		手动式	--
载物台	行程		14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm  8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm
观察筒	广角视场（视场数22）	倒置	--
		正像	--
	超宽视场（视场数26.5）	倒置	--
		正像	倾斜三目观察筒
附件单元			自动调焦/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸			711（W）×853（D）×552（H）mm（标准组合）
重量			56 kg（标准组合）

技术支持