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简介

能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。

原理

各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪*是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

性能指标

探头：一般为Si(Li)锂硅半导体探头

探测面积：几平方毫米

分辨率(MnKa)：～133eV

探测元素范围：Be4～U92

测器原理

当光子进入检测器后，在Si(Li)晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的*低平均能量ε是一定的(在低温下平均为3.8ev)，因此由一个 X射线光子造成的空穴对的数目N=△E/ε。入射X射线光子的能量越高，N*越大。利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对，经过前置放大器转换成电流脉 冲，电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器，脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数，这样*可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱。

使用范围

1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析;

2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定;

3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测;

4、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域;

5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。

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