常用的熏蒸气体共有三种，分别是溴甲烷、磷化氢和硫酰氟，这些气体能够有效杀灭细菌、病毒和昆虫等有害物质，常用做食物、木材、货物、标本等的熏蒸剂。它们的化学性质和介绍分别如下：
溴甲烷(Methyl bromide) (MB)
分子式CH3Br。溴甲烷是一种无色、无味、非易燃熏蒸剂。气体比重在0℃时为3.27，沸点3.6℃，微溶于水。它具有良好的穿透性能、扩散迅速、一般植物能容忍、对昆虫毒性高等特性，所以是植物检疫较好的熏蒸剂。溴甲烷在较广泛的温度范围内有效，其横向和向下扩散迅速，向上扩散缓慢。通常，温度升高会增加熏蒸剂的效果。如处理温度有明确规定，应随温度的变化，调整熏蒸剂量或熏蒸时间。对植物而言，需要高湿度，处理时的湿度可以通过放置湿的泥炭藓或木丝，或者使墙壁和地板增湿。活的生长植物或幼嫩植物应避免直接接触空气流。熏蒸种子时，不应增加湿度。熏蒸前，应该去掉容器的外包装，用非渗透性材料制成的容器应打开。打开顶部的非渗透或半渗透结构的容器，处理后应侧放，以利通风。牛皮纸和瓦楞纸板能被溴甲烷迅速渗透，不需要去掉和打开。玻璃纸、塑料胶片和上腊的、柏油层压防水纸、某些道林纸不能被溴甲烷迅速渗透，制作严密的木箱也不能被迅速穿透。若是吸附性强的包装材料，则有可能降低容器内溴甲烷的浓度。
以溴甲烷为熏蒸剂，不应使用铝制仪器和设备，因为液态溴甲烷与铝会发生反应而爆炸。溴甲烷的定量可以在特殊的玻璃量筒分配器中进行，或用商业用的台秤称量。
由于熏蒸剂的蒸汽压力大于外部大气压，密闭室内的气体会溢出。正常的扩散也使气体通过洞穴、裂缝或其他薄弱区域向外扩散，这既降低熏蒸效果，也很危险。溴甲烷在浓度不低于17ppm时，可被卤化物检漏器迅速测定。
溴甲烷处理植物后，至少不能在48小时内将植物放在阳光下或强烈通风场所。不应弄湿植物叶子，但植物可能需洒水或用潮湿材料覆盖，以防止植物萎蔫或损伤。
溴甲烷的实际浓度决定熏蒸处理的效果。除漏气外，*初引起溴甲烷浓度降低的原因，是密闭室内农产品或材料的吸附。吸附可能是表面吸附、物理吸附和化学吸附。吸附率不与时间一致，一般开始迅速，然后变得缓慢。某些农产品可能达到部分饱和点，然后出现正常吸附率（曲线）。对溴甲烷有强烈吸附作用的农副产品，应特注意测定熏蒸时溴甲烷的实际浓度，以保证达到要求的*低浓度。像常见的地毯背衬、芳香调料、马铃薯淀粉、木炭、樱桃李、橡胶（天然的或绉橡胶）、桂皮、阿月浑子坚果、蛭石、可可垫料、塑料废料、木制品（半成品）、硬纸板（绝缘纤维板）、羊毛（原毛、纺毛除外）等物品，均对溴甲烷有强烈的吸附作用。
溴甲烷熏蒸处理，可能影响鲜果和蔬菜的贮藏期限及植物和种子的生活力。供人和动物食用的农产品会有化学残留。
溴甲烷对人和动物有毒。由于溴甲烷没有*告气味，因此人和动物容易暴露在有害的浓度中。应避免皮肤接触液体溴甲烷，否则会引起严重水泡。液体溴甲烷还可通过人体皮肤被吸收。衣服和鞋袜溅污溴甲烷后应尽快脱去，接触溴甲烷部位应用水彻底冲洗。实施溴甲烷熏蒸时，严格禁止单独操作，应两人或更多人共同作业（所有的熏蒸剂都如此）。
磷化氢(Phosphine)
分子式PH3。磷化氢是一种无色气体，沸点87.4℃，微溶于水，气体比重1.214，对某些金属有化学反应，能腐蚀铜、铜合金、黄铜、金和银，因而磷化氢能损坏电子及电器设备、房屋设备及某些复写纸和未经冲洗的照相胶片。磷化氢的燃烧极限在空气中为1.7%。它不会与被处理农产品发生不可逆化学反应。对推荐使用磷化氢处理的农产品，不会产生不正常气味或变质。正常情况下，磷化氢具有一种大蒜或碳化钙气味，但在某些条件下可以不产生气味。
磷化氢常用于防治动植物产品和其他贮藏品上的昆虫，很少报道有关使用磷化氢防治有生命植物、水果及蔬菜上的害虫。对大多数害虫，长时间暴露于磷化氢低浓度下比短期暴露于高浓度下更为有效，这也不会影响大多数种子的萌发。
常用检测管测定磷化氢浓度，不能使用卤化物检测仪或其他火焰指示器测定，不能用热导分析仪测定。磷化氢防治害虫效果随昆虫种类不同而变化，某些昆虫如皮蠹属(Trogoderma)和象虫属(Sitophilus)被认为对磷化氢具有高的耐受性，螨类的某些种或在某一生活期对普通剂量磷化氢具有耐药力。
磷化氢帐幕熏蒸基本类似溴甲烷熏蒸，但也有某些不同：不必要进行强制性环流；使用熏蒸剂时应戴上保护性手套，如手术用手套；规定数量的片剂、丸剂、药袋等，应放在浅盘或纸片上并推入帐幕下，或者在布置帐幕时均匀地分布于货物中；注意货物与货物之间不要相互接触；为方便起见，可延长熏蒸期；磷化氢对聚乙烯有渗透作用，一般使用厚0.15~0.21mm的高密度聚乙烯薄膜作熏蒸帐幕；拆除帐篷和检测磷化氢残留时应戴防毒面具。
磷化氢气体是由磷化铝制剂与大气中的水蒸气经水解作用形成的。磷化铝制剂中的氨基甲酸酯首先分解，形成二氧化碳和氨这两种保护气体。磷化铝与空气中水分发生反应，放出磷化氢气体。二氧化碳和氨保护气体稀释放出的磷化氢，释放二氧化碳、氨和磷化氢气体时，片剂体积膨胀，外表由亮灰绿色变为白色，*终剩下约比*初体积大５倍的灰白色小灰堆，小灰堆主要成分是氢氧化铝，可能含有微量的磷化铝，熏蒸后必须予以清除。一般认为粮仓或其他货仓处理后，残留在粮食中的微量磷化铝与其他粮食渗混，是无害的。
集中收集磷化氢熏蒸后的残灰，放入干桶或干燥容器里并移到露天下，然后移入6~16升（2~4加仑）、装有一半水和120ml（半杯）洗衣粉的容器里，彻底搅动。残灰形成某种气体，引起水沸腾，当沸腾停止、残留物下沉底部时，可以把它倒入排水沟或屋外，这种混合物不再有毒，决不能把残灰直接倒入厕所。残灰处理过程中应佩带防毒面具。
硫酰氟(Sulphuryl flouride) (SF)
分子式SO2F2。硫酰氟是一种无色、无味的压缩气体，沸点55.2℃，不燃，不爆，化学性质稳定，不溶于水，具有高的蒸气压力，在空气中的比重为2.88。硫酰氟对昆虫除卵外的所有虫态都是剧毒的，但对许多昆虫的卵即使是在高浓度下也都具有耐力。硫酰氟对金属、塑料、纸张、皮革、布料、照相器材和其他许多材料均无腐蚀反应，被农产品的吸收较溴甲烷小，而且能迅速地解除吸收。硫酰氟的挥发无需辅助热源，但对植物是有毒的，不适用于有生命植物、水果或蔬菜的熏蒸。硫酰氟对大多数种子的萌发基本没有影响。在21℃以下，硫酰氟的效力迅速下降。
通常，硫酰氟的帐篷熏蒸操作规程同溴甲烷。硫酰氟熏蒸可以在土壤（除松散的沙子外）上进行，但土壤应充分弄湿，甚至湿润范围超出封闭的四周。为了保证熏蒸剂在整个密闭范围内的完全分布，需要良好的空气环流。整个熏蒸期应监测熏蒸剂的浓度，以确保不发生泄漏层。不要用计量分药器计量硫酰氟，因为硫酰氟有高的蒸气压力，用计量分药器计量是不安全的。计量硫酰氟，可用商用台秤计量盛药钢瓶的重量减少来计算。某些热导分析仪可检测硫酰氟的有效浓度。新鲜干燥剂必须与热导分析仪一起使用，同时不得用含苏打石棉的滤器吸收硫酰氟气体中的水分。
目前，尚没有硫酰氟中毒的解毒剂。应用硫酰氟熏蒸杀虫，必须严格遵守操作规程。硫酰氟不能用来处理食品和食品原料。