测定方法 | 斐佐型干涉仪 | |
口径 | ø60(使用选配件时ø6~ø60)mm | |
参照镜表面精度 | λ/20(球面及平面) | |
光源 | He-Ne激光(632.8 nm)2级激光 | |
映像输出 | USB2.0数字输出 | |
焦点 | 有 | |
调整 | 有(光斑重合法) | |
倍率 | 数码变焦(1~3倍) | |
机身外形尺寸 | 干涉仪 | 370(W)×260(D)×845(H) mm (PC除外) |
光源装置 | 195(W)×365(D)×98(H) mm | |
机身重量 | 干涉仪 | 约20 Kg (PC除外) |
光源装置 | 约5.0 Kg | |
电源电压 | AC100-120 V / AC200-240 V、50-60 Hz | |
工作距离 | 最大300 mm(因参照镜、被检物不同而异) | |
干涉条纹观察 | 将电脑用作监视器 | |
相位计算方式 | 干涉条纹的形状(条纹二值化方式) | |
干涉条纹数值化软件的主要功能 |
干涉条纹全屏显示功能 干涉条纹目视确认图表显示功能 调整图象显示功能 P-V、RMS、Pwr、AS、Coma、Sa3的显示功能 (不能进行±判别及角度判别) 规格值设定及合格判断功能 影面设定功能 单一测定、连续测定功能 |
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干涉条纹测定时的再现性 | PV值0.1λ以下 ※根据本公司测定条件。 | |
干涉条纹测定时间 | 约1.0秒(根据电脑性能而定) | |
选配件 |
测长装置 带槽嵌入式连接器(螺口式参照镜用) 干涉条纹解析装置(KIF-FU60/KIF-FSA) 参照镜(RF60、F0.6、F0.7、F1.0、F1.5、F2.0、F3.0、 F4.0、F6.0、C150、C300、C490、V520、V670、V750、 APC60-15)*1 衰减过滤器(AF60) *1: 部分参照镜需要配合带槽嵌入式转换器使用。 |